儀器由電氣和機械二大部分構成。電氣部分主要是一個供電暈放電的高壓電源及控制儀器操作的電路;機械部分主要是以真空泵為主體的氣動機構及電暈小車。
靜電壓痕儀主要用來顯現紙張上字跡壓痕,涂改痕跡、水漬、指紋和固定灰塵腳印。
操作時將文件放置在多孔真空板上,在文件上覆蓋聚酯薄膜。真空泵抽氣時,文件和聚酯薄膜緊貼在真空板上。高壓電暈盒在文件上掃動,聚酯薄膜對應紙上有痕跡的地方電荷密度不同于其他部位,即形成了靜電潛影,噴灑色粉可以將靜電潛影顯現出來。
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